第579章 烧钱

　　第章烧钱

　　中关村科技大楼，五楼顶层。

　　这里不对外开放，作为由陈春仙主持的、华夏硅谷公司的自主研发项目――光刻机的设计研发基地。

　　活了两辈子，时至今日，在此地，李建昆终于在现实中接触到光刻机。

　　对于光刻机的了解，不再停留在键盘侠的层次。

　　位于廊道尽头的一间实验室，有一扇硕大的对开式铁皮门，实验室里没有任何窗户，铁皮门关起来的话，处于全封闭状态。

　　在房间右侧靠墙的位置，静静“躺”着一台机械、电子和光学等，多种科学凝聚而成的智慧结晶。

　　它的体积比李建昆想象中要小一些，精密程度也不如记忆中的某些图片上复杂，大概率是由于功能还不够强大的缘故。

　　这是一台由清华所自主研发的，第二代接近式光刻机。

　　整体像只柜子，矩形规格，大小等于两只对开门的衣柜拼凑在一起。

　　李建昆绕着圈圈，饶有兴致打量时，陈春仙像是给他做介绍，又像是在做某种铺垫，朗声道：

　　“二代光刻机和一代，最大的区别在于，一代使用的是的g-光源，二代使用则是的i-光源。”

　　他居然以为李建昆能听懂……

　　可见早前凭借键盘侠技术，李建昆在他心中竖立起何等专业的形象。

　　“不过一代和二代本质上其实差不多，都属于接触接近式光刻机，各自缺点明显，一代光刻机由于掩膜和光刻胶直接接触，易受污染；二代改良过后，却又出现新的问题，受气垫影响，成像精度还是不如人意。”

　　李建昆装模作样问：“所以呢？”

　　“要颠覆。”

　　陈春仙指了指清华圆的方向，“我跟那边详细讨论过，也通过国外行业能搜集到的皮毛资料，做过深入研究。下一代光刻机，需要摒弃掉‘接触接近’的方式，技术出路一定在光学投影这一块。”

　　对喽！

　　李建昆眼神大亮，作为资深键盘侠，你跟他说具体怎么造一台光刻机，其中涉及哪些细微技术，他是真不懂。但大的技术特点，他还是有所了解的。

　　第三代光刻机的称谓，正是叫作“扫描投影式光刻机”。